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中国
行业标准
现行
HG/T 5895-2022
工业用混合气体 硅烷/氮气
更新时间：2025-01-14 15:28:44
最新版发布于 2022-09-30
自 2023-04-01 起实施
废止
行业：
工化
区域：
中国大陆
发布单位：
中华人民共和国工业和信息化部
主要内容：
本文件规定了工业用氮中硅烷混合气体（以下简称“混合气体”）的制备方法、试验方法，确立了检验规则，规定了混合气体的技术要求、标志、包装、储存及安全信息的要求，适用于由电子工业用硅烷和高纯氮（或超纯氮）为原料制备的混合气体。
操作：
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