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三(二甲基氨基)氯硅烷
tris(dimethylamino)chlorosilane
chloro-tris-dimethylamino-silane, 1-Chloro-N,N,N',N',N'',N''-hexamethylsilanetriaminato(2-), Silanetriamine, 1-chloro-N,N,N',N',N'',N''-hexamethyl-, Chlor-tris-dimethylamino-silan, tris(dimethylamino)chlorosilane, 1-Chloro-N,N,N',N',N'',N''-hexamethylsilanetriamine, Silanetriamine,1-chloro-N,N,N',N',N'',N''-hexamethyl, EINECS 236-331-4, Si(N(CH3)2)3Cl, MFCD00048004, Tris-(dimethylamino)-chlorsilan
CAS号: 13307-05-6
SMILES: CN(C)[Si](N(C)C)(N(C)C)Cl
EC号: 236-331-4
